vacuum-equipment真空装置事業

設計

アルバック東北は、世界で唯一の真空総合メーカー 株式会社アルバックの生産分担会社として、さまざまな真空装置をつくり続けています。
スパッタリング装置、蒸着装置、CVD装置、真空乾燥装置、真空炉、半導体用熱処理装置など、その分野は多岐にわたり、機械設計、電気設計、ソフトウエア設計の全てを行っています。
長年蓄積してきた技術と実績を、3D-CADや強度解析などのツールで進化させ、求められる仕様を実現します。

 

CAD
  • iCAD SX
CAE
  • KASWAD/NP
  • Femtet
PLC
  • [三菱] iQ-Works,GX-Works,GT-Designer
  • [OMRON] SysmacStudio,Cx-programmer
  • [Keyence] KV-Studio
PC
  • Delphi,VisualStudio
組込み系
  • MPLAB

 

 

工場

アルバック東北は、アルバックグループの世界に7か所あるメガファクトリーのひとつです。世界最大級の大型スパッタリング装置製造に対応したクリーンルームをはじめ、一般産業用の各種真空装置製造を行う一般工場も備えています。組立とテストを終えたさまざまな装置を、国内のみならず、世界のお客様に向けて出荷しています。

 

工場 面積(㎡) クレーン
クリーンルーム1 700 10t×2台
クリーンルーム2 670 10t×2台
クリーンルーム3 300 30t×1台 30t(15t 2フック)×1台
クリーンルーム4 620 5t×2台 2.8t×1台
クリーンルーム5 620 10t×1台 5t×1台 2.8t×1台
一般工場1 1,000 15t×1台 15t+5t×1台
一般工場2 620 10t×2台

 

 

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