装置事業 詳細

スパッタリング装置

装置例:

SMDシリーズ
金属膜、ITO、IGZO、誘電体膜等を成膜する枚葉式スパッタリング装置

   
用途:

カラーフィルター、ディスプレイ(TFT、スマートフォン、薄型テレビ(2K、4K)、OLED)

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CVD装置

装置例:

CMDシリーズ

SiH4やTEOSを用いたa-Si膜、シリコン酸化膜、窒化膜装置用枚葉式CVD装置

   
用途:

低温P-Si、 a-Si TFT

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熱処理装置

装置例:

バッチ式小型真空熱処理 

縦型真空熱処理装置
横型真空熱処理装置
インライン・バッチ式真空熱処理装置
雰囲気熱処理装置

各種金属の焼入れ,焼戻し,焼結,焼鈍など
   
  この他にも多種製造しております。
   
    bknr.png 横型真空熱処理炉 縦型真空熱処理炉  
バッチ式小型真空熱処理  横型真空熱処理炉 縦型真空熱処理炉

数多くの製作実績に基づく技術力で、最適な装置をご提案します。

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真空乾燥装置

装置例:

DB-1/DB-5

   
用途:

電子材料、二次電池電極材、金属、セラミック部品等の乾燥、脱ガス装置

   
特長:

大容量コールドトラップにより大量の水分も一度に捕集できます。

内壁加熱方式/棚段加熱方式の選択が可能。

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型式

DB-1

DB-5

有効処理寸法

500W×500H×500L

1000W×1000H×1000L

到達圧力

1.0Pa以下

温度範囲

室温~500℃

加熱方式

内壁加熱方式 or 棚板加熱方式

棚サイズ

400W×400L(3段)

880W×1180L(5段)

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食品加工・医薬品関連設備

装置例: 凍結真空乾燥装置 ... フリーズドライ食品
  真空冷却装置 ... 野菜,果物,生肉などの低温貯蔵
  真空乾燥装置 ... 加工食品,電子部品,機械部品の乾燥
  真空蒸留装置 ... ビタミン類などの真空蒸留,機械油の精製など
  真空薄膜蒸留装置 ... 高沸点化合物などの精製,濃縮,脱臭など
  真空濃縮装置 ... 医薬品、飲料などの濃縮
   
  この他にも多種製造しております。
   

【設計製作実例】

医薬品用凍結真空乾燥装置 小型凍結真空乾燥装置 遠心式薄膜蒸発機
医薬品用凍結真空乾燥装置

小型凍結真空乾燥装置

遠心式薄膜蒸発機

 

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研究用装置

装置例: 真空排気装置
真空搬送装置
脱ガス装置
ガス分析装置
成膜装置
各種実験用小型装置
   
  この他にも多種製造しております。
   
コンパクトスパッタ装置 マイクロパウダードライシステム
コンパクトスパッタ装置 マイクロパウダードライシステム

真空装置製造メーカーとしての豊富な知識を基に、検討段階からご相談にのります。

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真空排気装置

標準タイプからカスタムメイドまで、様々なニーズにお応えします。

装置例: 各種実験,研究用小型装置
・加熱/冷却用途
・ガス分析用途
   
特徴: ・チャンバー材質,表面処理など選択可能
・運転方式選択可能(手動操作方式/半自動方式/完全自動方式)
・ロギング機能などの豊富なオプション

 

小型真空排気装置   クライオポンプ   油拡散ポンプ
小型真空排気装置   クライオポンプ   油拡散ポンプ

独自の真空チャンバー製作技術により、良好な真空を速やかに得られます。

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